蔡司CEO：缺少EUV光刻机 中国商业芯片崛起的神话难以为继

德国光学巨头蔡司首席执行官弗兰克·罗姆蒙德近日表示，由于美国对华出口管制导致中国无法获得荷兰阿斯麦的尖端极紫外光刻机，中国半导体产业在商业化道路上将面临巨大阻碍。他指出，长远来看，依赖深紫外光刻机配合多重曝光的替代方案在良率和成本上均不可行。 阅读全文