中国据报开始小批量生产自主沉浸式深紫外光刻机

据科技媒体《信息报》援引消息人士报导称，一家总部位于上海的中国公司已开始限量生产沉浸式深紫外光刻机。这家公司计划今年生产5套系统以供交付，预计到2027年生产约20台沉浸式深紫外光刻机。