上海爱晟纳生产自主沉浸式深紫外光刻机受关注 知情人士指仍需进一步测试

据路透社援引知情人士报导，中国已开始批量生产自主研发的沉浸式深紫外（DUV）光刻机——这是一项对先进芯片制造至关重要的技术；此举标志着中国在减少对外国技术依赖的进程中迈出了关键一步。