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重大突破:中国开始批量生产自主研发的DUV光刻机 | av5269.com
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重大突破:中国开始批量生产自主研发的DUV光刻机
重大突破:中国开始批量生产自主研发的DUV光刻机
Deutsche Welle: DW-WORLD.DE
2小时前
据美国科技商业媒体《信息报》本周一报道,中国已开始小规模批量生产自主研发的浸没式深紫外(DUV)光刻机,标志着中国在减少对外国技术依赖的进程中迈出了关键一步。该类关键的芯片制造设备长期以来一直由荷兰供应商阿斯麦(ASML)主导。
原文来源:
https://www.dw.com/zh/重大突破:中国开始批量生产自主研发的duv光刻机/a-78147083?maca=chi-rss-chi-all-1127-xml-mrss