中微公司董事长尹志尧：已开发出 54 种高端半导体设备，刻蚀和薄膜设备的加工的精度已经达到了原子级水平

IT之家 8 月 2 日消息，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）昨日举行“中微大厦”落成暨 22 周年庆典。IT之家注：中微公司是一家微观加工高端设备公司，总部位于上海，开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备可加工微米级和纳米级的各种器件。今日官方公布了中微公司创始人、董事长兼总经理尹志尧的发言内容。尹志尧称中微公司已开发出 54 种高端半导体设备，包括 26 种高能和低能等离子体刻蚀机设备，24 种各类薄膜设备、化学机械抛光设备和量检测设备。刻蚀和薄膜设备的加工的精度已经达到了原子级水平。截至 2026 年 6 月底，公司累计已有超过 8800 个反应台在国内外 220 余条生产线实现量产。尹志尧表示，自 2012 年至今，中微公司已连续 14 年保持平均年销售 35% 以上的增长，人均年销售额达到了 450 万元，和国际领先的设备公司持平。但中微公司的人均成本不到国际公司的一半，公司的劳动生产率远高于国际领先的设备公司。据介绍，中微公司 2025 年研发投入约 37.4 亿元，占全年营业收入比重达 30.2%，大幅高于科创板上市公司平均水平。展望未来三至五年，公司计划累计投入约 130 亿元研发资金，开发上百种新的高端设备。相关阅读：《中微公司董事长尹志尧：到 2035 年在规模、产品竞争力上成为全球第一梯队的半导体设备公司》