台积电公布制程技术路线图：A12、A13与N2U亮相 A16量产推至2027年

台积电在本周三于北美技术论坛上公布了其一直延伸到2029年的先进制程技术路线图，系统梳理了1.2纳米与1.3纳米级别的新一代制程（A12、A13），意外揭晓了N2家族的新成员N2U，并确认在2029年前的各节点规划中仍未引入高数值孔径（High‑NA）EUV光刻机。 阅读全文